Vakuum Servis

Vacuum service Ltd. 在真空技术、真空沉积和氦检漏仪领域已有 30 多年的经营历史。 该公司专门提供真空技术的系统整合服务，提供真空设备现代化和泄漏检测服务。 并可为客户生产客制化真空系统。

典型产品：

1.UHV degassing Furnaces/Ovens (半导体行业材料专业热处理设备)

•高质量 UHV 脱气系统

•脱气后材料达到超纯度

•适用于不同材料的UHV高达1300°C的热处理（脱气、真空焊接、退火等）

•直径为 450mm*600mm 的加热室中的极限真空优于 8e-8mbar

•搭配普发(Pfeiffer)真空无油泵系统，配备涡旋泵和涡轮分子泵

•配置攀时(Plansee)设计的钼加热系统

•温度设定点精度达到 2°C

•可配置多达 3 个加热区

•带触摸屏的西门子Simatic 控制系统

•完全可配置的系统（尺寸、参数等）

2.Industrial UHV cleaning station (带 RGA 分析的UHV 清洁站)

•样品的 UHV 使用资格及详细协议

•加热至200°C

•等离子清洁选项

•定制腔体尺寸

3.Classic universal coating system

4.Helium Leak Detection Systems (氦气泄漏检测系统 HLDS)

•为汽车和暖通空调客户提供最先进的HLDS。

•30 年 HLDS 经验

•灵敏度高可检测微小泄漏

•配备普发真空检漏仪ASM 340、ASI35、ASM 306等。

•全自动或半自动化解决方案、整合生产线、提高 cycle time

•包含真空测试(Vacuum Test)、轰炸测试(Bombing Test)、嗅探测试(Sniffing Test)