scia Systems 德国

典型产品：

1， scia Mill 150 离子铣150

scia Mill 150是离子束刻蚀，最大到6寸硅片，通过自动传送平台，晶圆背面有氦冷，角度可调节和旋转

应用范围：

Mems和传感器

金属和介质层图形处理

特点：

大面积离子束刻蚀，使用惰性气体

水冷氦冷背面夹具

2，scia Trim 200离子束修频

离子束修频能精确控制硅片表面薄膜的厚度，适用于量产，应用业界标准的晶圆传送系统。可扩展至多腔室，业界市占率最高。

应用范围：

BAW，SAW芯片的修频

特点：

对焦的宽离子源，可调节焦点大小

全晶圆表面扫描，通过计算不同位置的停留时间长短来精确控制所需去除的材料厚度