InterLitho

典型产品：

1. VIL 1000 全自动步进重复式激光干涉 (Laser Interference) 光刻机

应用：

光学(LED, 图案化蓝宝石衬底, AR 眼镜)相关领域蚀刻

特点：

全自动光路重构、动态锁相、高精度步进重复曝光

最小线宽低于50纳米

快速光路重构(一维线栅和纳米点、孔、棒、棋盘格等二维阵列)

全自动化参数设置

特征尺寸调制

动态锁相系统（AIPS）

典型产品：

2. HIL 1000 晶圆级大面积激光干涉 (Laser Interference) 光刻机

应用：

光学(LED, 图案化蓝宝石衬底, AR 眼镜)相关领域蚀刻

特点：

单次曝光实现晶圆级纳米结构

最小线宽低于50纳米

快速光路重构(一维线栅和纳米点、孔、棒、棋盘格等二维阵列)

特征尺寸调制

典型产品：

3. CIL 1000 桌上经济型激光干涉 (Laser Interference) 光刻机

应用：

光学(LED, 图案化蓝宝石衬底, AR 眼镜)相关领域实验室

特点：

桌上型设备，体积小，适合实验室及小型量产

Computer-controlled

Centimeter-Scale pattern siz